ИНДИКАТОР И ПОКАЗАТЕЛИ РЕАЛИЗАЦИИ МЕРОПРИЯТИЙ ПОДПРОГРАММЫ РАЗВИТИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ. ПЕРЕЧЕНЬ. ПРОДОЛЖЕНИЕ

документации на изготовление
чувствительных элементов:
- микросистем контроля давления;
- микроакселерометров;
- микромеханических датчиков
- угловых скоростей;
- микроактюаторов с напряжением
управления, предназначенных для
использования в транспортных
средствах, оборудовании топливно-
энергетического комплекса,
машиностроении, медицинской
технике, робототехнике, бытовой

35. Разработка базовых технологий 249 94 110 45 - - создание базовых технологий и
микроакустоэлектромеханических --- -- --- -- комплектов необходимой
систем 161 61 70 30 технологической документации на
изготовление
микроакустоэлектромеханических
систем, основанных на
использовании поверхностных
акустических волн (диапазон
частот до 2 ГГц) и объемно-
акустических волн (диапазон
частот до 8 ГГц),
пьезокерамических элементов,
совместимых с интегральной
технологией микроэлектроники

36. Разработка базовых конструкций 418 - - 71 225 122 разработка базовых конструкций и
микроакустоэлектромеханических --- -- --- --- комплектов необходимой
систем 280 60 143 77 конструкторской документации на
изготовление пассивных
датчиков физических величин:
- микроакселерометров;
- микрогироскопов на поверхностных
- акустических волнах;
- датчиков давления и температуры;
- датчиков деформации, крутящего
- момента и микроперемещений;
- резонаторов

37. Разработка базовых технологий 106 51 55 - - - создание базовых технологий


Страницы: 97 из 126  <-- предыдущая  cодержание   следующая -->