ПЕРЕЧЕНЬ МЕРОПРИЯТИЙ ФЕДЕРАЛЬНОЙ ЦЕЛЕВОЙ ПРОГРАММЫ РАЗВИТИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТНОЙ БАЗЫ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. ПРОДОЛЖЕНИЕ

изоляторе" с проектной
нормой не менее
0,18 мкм (2015 год)

Всего по направлению 2 6204,432 427,809 344,371 326,752 1229,5 1163,7 1051,9 881,9 778,5
-------- ------- ------- ------- ----- ----- ----- ----- -----
4103,35 292,1 245,95 161,7 819,6 780 700 590 514

Направление 3. Микросистемная техника

41. Разработка базовых 184,215 165,053 19,162 создание базовых технологий
технологий микро- ------- ------- ------ (2009 год) и комплектов
электромеханических 117,9 105,9 12 технологической документации
систем на изготовление
микроэлектромеханических
систем контроля давления,
микроакселерометров с
чувствительностью по двум и
трем осям, микромеханических
датчиков угловых скоростей,
микроактюаторов

42. Разработка базовых 433,712 87,239 73,473 108 82,5 82,5 разработка базовых
конструкций ------- ------ ------ --- ---- ---- конструкций и комплектов
микроэлектромеханических 273,8 42,1 49,7 72 55 55 необходимой конструкторской
систем документации на изготовление
чувствительных элементов и
микросистем контроля
давления,
микроакселерометров,
микромеханических датчиков
угловых скоростей,
микроактюаторов с
напряжением управления,
предназначенных для
использования в транспортных
средствах, оборудовании
топливно-энергетического
комплекса, машиностроении,
медицинской технике,
робототехнике, бытовой


Страницы: 21 из 139  <-- предыдущая  cодержание   следующая -->